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MEMSおよびマイクロエレクトロニクス用のスイス製SU-8フォトエポキシ機能製品
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9月 30, 2009
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粒子検出用SU-8マイクロ流体装置
本論文では、標準的な微細加工技術に基づく新しいシンチレーション検出器の研究を紹介する。 SU-8マイクロチャネ...
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